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真空设计应考虑节能减排低碳原则

传统的真空设计，对于真空室设计，为了节约加工成本，采用易加工简单的真空室，对抽真空系统设计，经常选用极限真空较高的机械泵、罗茨泵、扩散泵组合系统，但当前从节能减排的低碳要求出发，往往是不合理的，而且用户日后在长期运行中，能耗很大，使应用真空的产品后续成本大为提高。

过去的真空设计较多考虑真空室参数选用，抽气时间计算，真空室容积、抽气速率、漏率、压升率、极限真空、强度计算、真空管道分子流流导计算，真空系统的设计和选用。

当然这些都是需要的，在当时的历史经济背景下，很少考虑节能减排，而在当前的世界经济发展危及地球气候变暖，生态失去平衡，以及能源短缺的背景下，真空设计注重节能减排的低碳原则，同其它用电大户一样，有义不容辞的责任；

固然，这样改进真空设计，一般也可能降低真空设备制造成本，但有时即使设计中贯彻低碳原则，提高了些成本，也应在所不惜，譬如涉及抽气时间的真空室容积选择，不能一开始就选用圆柱形筒状，必须依低碳原则考虑一下其它形状能否更节能。

在现代先进的加工、焊接技术条件下，需要权衡一下把节能考虑的‘权重’提高。又譬如涉及极限真空的选择，不能一开始就追求选用高的极限真空的指标，极限真空非常高，当然能使背景真空非常洁净，对工艺有利，但不能无节制，常常在不影响工艺的条件下，可以选用极限真空不太高的指标。

真空镀膜机冷却系统的原理及监控方法

真空镀膜设备的金属罩体通过安装孔然后以焊接的方式固定在真空镀膜机的外壁上，待冷却的外壁通过加强圆槽形成渠道，这样确保了冷却的流通，也避免的死角现象的产生，有效的对镀膜机进行了快速的降温，降低了油泵的温度，加强了冷却的强度，结构简单，安全可靠等有点，在真空镀膜机冷却外壳上包括金属罩体的原因是数个排列有序，并且内凹的加强圆槽，所述加强圆槽呈半球形或圆锥台形；在所述加强圆槽底部设有用连接现有真空镀膜机的待冷却外壁的安装孔，所述金属罩体通过安装孔并以焊接方式固定在现有真空镀膜机的待冷却外壁上，在所述金属罩体与待冷却外壁之间通过加强圆槽构成循环通道，根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，在所述金属罩体上相邻两所述加强圆槽的纵横间距为100-300mm,上述加强圆槽槽深为12_15mm,所述金属罩体的厚度为2-5_，根据权利要求1所述的真空镀膜机循环冷却系统用冷却外壳，其特征在于，所述加强圆槽的大直径为24-136mm。

真空镀膜机薄膜均匀性概念

1.厚度上的均匀性：也能够理解为粗糙度，在光学薄膜的标准上看（也即是1/10波长作为单位，约为100A），真空镀膜机的均匀性现已相当好，能够轻松将粗糙度操控在可见光波长的1/10范围内，也即是说关于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何妨碍。

2.化学组分上的均匀性：即是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于标准过小而很简单的发生不均匀特性，SiTiO3薄膜，假如镀膜进程不科学，那么实践外表的组分并不是SiTiO3，而可能是其他的份额，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技能含量地点。

3.晶格有序度的均匀性：这决议了薄膜是单晶，多晶，非晶，是真空镀膜技能中的热点问题。